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Entwicklung Und Optimierung Von Prozesskomponenten Zur Ionenunterstutzten Abscheidung Bei Pvd-verfahren - Ipa-iao - Forschung Und Praxis Walter Olbrich German edition
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Entwicklung Und Optimierung Von Prozesskomponenten Zur Ionenunterstutzten Abscheidung Bei Pvd-verfahren - Ipa-iao - Forschung Und Praxis
Walter Olbrich
126 pages, 7 black & white tables
| Media | Books Paperback Book (Book with soft cover and glued back) |
| Released | October 21, 1994 |
| ISBN13 | 9783540585114 |
| Publishers | Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm |
| Pages | 126 |
| Dimensions | 148 × 210 × 7 mm · 163 g |
| Language | German |
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